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          客服热线:18680281884

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          CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

          名称:CGO高低温真空探针台
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          CGO系列高低温真空

          探针台

           

          高低温真空探针台.png

           产品介绍

          高低温真空探针台.png

           1.1 功能介绍

           

          CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

           

          1.2 技术参数

           

          型号

          基本参数

          CGO-2CGO-4CGO-6
          腔体样品台尺寸

          2英寸

          4英寸

          6英寸

          样品固定

          弹簧压片

          观察窗口

          2英寸

          4英寸

          6英寸

          真空度

          10-5torr

          探针臂接口

          最多4个探针臂接口

          最多6个探针臂接口

          其他接口

          电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

          温控系统

          制冷方式

          液氮/液氣/制冷机

          温度范围

          77K  573K/4.5K  573K

          温控精度

          0.1K/0.01K/0.001K

          稳定性

          ±1K/±0.1K/±0.01K

          显微镜

          显微镜类型

          单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

          放大倍率

          16X-200X/20X-4000X

          移动行程

          水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

          光源

          外置LED环形光源/同轴光源

          CCD

          200万像素/500万像素/1200万像素

          探针臂

          X-Y-Z移动行程

          50mm*50mm*50mm

          结构

          外置探针臂,真空波纹管结构

          移动精度

          10微米/I微米

          探针夹具

          线缆

          同轴线/三轴线/射频线

          漏电精度

          10pA/100fA/10fA

          固定探针

          弹簧固定/管状固定

          接头类型

          BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

          探针

          频率支持

          DC-110GHz

          针尖直径

          0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

          材质

          钨钢/铍铜

          真空组件

          分子泵组/机械泵/离子泵

          冷源组件

          50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷机

          外形

          880mm *880mm *600mm 

          980mm *980mm *600mm 

          重量

          100千克

          120千克

          可选附件

          超高温配件

          屏蔽箱

          高压测试配件

          显示器

          光学平台

          分子泵组

          转接头

          镀金卡盘

          激光系统

          射频测试配件

          光电测试配件

          气敏测试配件

          根据客户要求定制



          应用案例:


          北京师范大学CGO探针台.png华为OCG高低温探针台.png南科大CGO高低温真空探针台.png
          中国石油大学CGO高低温真空探针台.png西南交通大学OCG高低温真空探针台.png南方科技大学OCG高低温真空探针台.png
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